Kopsavilkums
Izgudrojums attiecas uz vakuuma mikroelektronikas nozari, konkrēti uz autoelektronu emisijas elementiem. Izgudrojuma lietošanas joma ir autoelektronu emisijas ierīces, tādas kā diodes, mikrotriodes un citas, kas izgatavotas, izmantojot pusvadītāju ierīču izgatavošanas planāro tehnoloģiju. Izgudrojums – autoelektronu emisijas elements – satur plakanu katodu (1), kas novietots paralēli plakanam anodam (2) un ir elektriski izolēts no anoda (2) ar dielektriskā materiāla slāni (3). Katoda (1) elektronus emitējošo virsmu veido ar paņēmieniem, kas savietojami ar pusvadītāju mikroshēmu izgatavošanas standarta tehnoloģiskajiem procesiem. Turklāt katoda (1) malai (5) izveido liekumu, kā rezultātā veidojas elektronus emitējošā smaile (6). Šāda konstrukcija palielina elektronus emitējošās virsmas liekumu, tādējādi samazinot katoda (1) darba spriegumu. Katoda (1) malas (5) liekums var tikt sasniegts, izmantojot fotolitogrāfijas un slapjās ķīmiskās kodināšanas paņēmienus. Izgudrojuma autoelektronu emisijas elements ļauj iegūt autoelektronu emisiju spriegumā, kas mazāks par 10 V.
| Tulkotais devuma nosaukums | Autoelectron emission element with planar cathode |
|---|---|
| Oriģinālvaloda | Latviešu |
| Patenta numurs | 15846 |
| IPC | H01J 1/304,H01J 21/10 |
| Prioritātes datums | 28/11/23 |
| Publikācijas statuss | Publicēts - 20 aug. 2024 |
OECD Zinātnes nozare
- 2.2 Elektrotehnika, elektronika, informācijas un komunikāciju tehnoloģijas
- 2.5 Materiālzinātne
Nospiedums
Uzziniet vairāk par pētniecības tēmām “Autoelektronu emisijas elements ar planāru katodu”. Kopā tie veido unikālu nospiedumu.Citēt šo
- APA
- Author
- BIBTEX
- Harvard
- Standard
- RIS
- Vancouver